ADVANCED ENERGY, 챔버 클린 적용을 위한 MAXSTREAM RPS 제품 라인 출시

고도로 설계되고 정밀한 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 글로벌 리더인 Advanced Energy(나스닥: AEIDS)는 반도체 장치 제조에 사용되는 공정 챔버의 플라즈마 클리닝을 위한 새로운 MAXstreamTM 원격 플라즈마 소스(RPS) 제품 라인을 출시한다고 발표했다. 광범위한 작동 범위에서 제공되는 MAXstream 라인은 더 높은 전력 정확도, 동급 최강의 플라즈마 점화 및 향상된 안정성을 제공해 ...