프랙틸리아, EUV 패턴 제어 및 수율 향상 위해 HVM 팹에 스토캐스틱 분석 기술 제공

스토캐스틱(stochastic) 기반 분석·제어를 선도하는 차세대 반도체 산업 주자 프랙틸리아가 FAME™(Fractilia Automated Measurement Environment, 프랙틸리아 자동화 측정 환경) 포트폴리오에 최신 제품 ‘FAME 300’을 추가한다고 22일 밝혔다. 대량 제조(high-volume manufacturing, 이하 HVM) 팹 환경에서의 사용을 위해 특별히 설계된 FAME 300은 첨단 노드 공정에서 패터닝 오류의 주된 원인인 스토캐스...